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产品名称	规格	应用领域
		IC			FPD	Optical Fibre	LED
		12吋	8吋	6吋及以下	FPD	Optical Fibre	LED
电子级氯气（Cl2）	5N	*	*	*	*	*	*
电子级氯化氢（HCl）	5N	*	*	*	*
电子级氟化氢（HF）	5N	*	*
电子级一氟甲烷(CH3F)	5N	*	*	*
电子级二氟甲烷(CH2F2)	5N	*	*	*
电子级三氟甲烷(CHF3)	5N	*	*	*
电子级五氟乙烷(C2HF5)	5N	*	*	*
电子级六氟乙烷(C2F6)	5N	*	*	*
电子级八氟环丁烷(C4F8)	5N	*	*	*
电子级六氟丁二烯(C4F6)	4N5	*	*	*
电子级八氟丙烷(C3F8)	5N	*	*	*
电子级八氟环戊烯(C5F8)	5N	*	*	*
电子级六氟化钨(WF6)	5N	*	*	*
电子级三氟化氯(ClF3)	3N	*	*	*

(注: “*”表示产品的应用领域。)

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